采用放电等离子烧结 (spark plasma sintering, SPS)技术, 添加不同含量CaF2为烧结助剂, 成功制备了透明氮化铝(AlN)陶瓷. SPS技术具有烧结快速, 烧结体致密度高的特点, 是制备透明AlN的有效方法. CaF2的加入量的提高, 有利于烧结体的致密度和透过率的提高. 当CaF2加入量为3%(质量分数)时, 烧结体致密度不再继续提高, 但仍有利于透过率的提高, 此时烧结体透过率最高为54.7%. SEM、XRD、TEM和EDX结果表明烧结体具有很高的致密度、纯度, 均匀的晶粒形状和尺寸, 晶界及三角晶界处观察不到第二相的存在, 从而保证了烧结体良好的光学性能.
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