硅粉形貌对人工合成高纯碳化硅粉料的影响

功能材料, 2008, 39(12): 1989-1991.

硅粉形貌对人工合成高纯碳化硅粉料的影响

宁丽娜 ^1, , 胡小波 ^2, , 王英民 ^3, , 王翎 ^4, , 李娟 ^5, , 彭燕 ^6, , 高玉强 ^7, , 徐现刚 ^8,

1.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

2.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

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8.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

基金项目: 教育部跨世纪优秀人才培养计划(NECT-04-0625) 国家高技术研究发展计划(863计划)(2006AA03A145;2007AA03Z405) 国家自然科学基金(50721002) 山东省科技发展基金(2006GG1103046)

关键词：高纯 , 合成 , 碳化硅粉

Research on silicon powder and synthesis condition in synthesis of high purity SiC powder

合成了适于半绝缘碳化硅单晶生长的高纯度SiC粉料.实验发现,不同的硅粉形状、粒度以及合成温度、时间都对合成产物的形貌、组成和产率有影响.合成产物的形貌通过扫描电子显微镜(SEM)观察,结构通过粉末衍射法(XRD)测定.结果表明,合成产率与Si粉的表面积有十分重要的关系,表面积越大,合成产率越高.合成温度和时间则决定了合成产物中岐睸iC和猹睸iC的比例.辉光放电质谱(GDMS)测量了合成产物的杂质含量,表明合成产物符合半绝缘SiC单晶的生长要求.

参考文献

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