化学溶液法制备涂层导体过渡层La2Zr2O7厚膜的研究

人工晶体学报, 2010, 39(2): 396-400.

化学溶液法制备涂层导体过渡层La2Zr2O7厚膜的研究

王榕 ^1, , 索红莉 ^2, , 程艳玲 ^3, , 刘敏 ^4, , 赵跃 ^5, , 叶帅 ^6, , 高忙忙 ^7, , 周美玲 ^8,

1.北京工业大学材料学院新型功能材料教育部重点实验室,北京,100022

2.北京工业大学材料学院新型功能材料教育部重点实验室,北京,100022

3.北京工业大学材料学院新型功能材料教育部重点实验室,北京,100022

4.北京工业大学材料学院新型功能材料教育部重点实验室,北京,100022

5.北京工业大学材料学院新型功能材料教育部重点实验室,北京,100022;北京工业大学数理学院,北京,100022

6.北京工业大学材料学院新型功能材料教育部重点实验室,北京,100022

7.北京工业大学材料学院新型功能材料教育部重点实验室,北京,100022

8.北京工业大学材料学院新型功能材料教育部重点实验室,北京,100022

基金项目: 国家自然科学基金(50771003;50802004) 国家高技术研究发展计划(863计划)(2009AA032401) 国家重点基础研究发展规划(973计划)(2006CB601005) 北京市自然科学基金(2092006)

关键词：涂层导体 , CSD方法 , LZO过渡层 , 种子层

Fabrication of La2Zr2O7 Thick Layers by Chemical Solution Deposition for Coated Conductors

为制备高质量的双轴织构La2Zr2O7(LZO)涂层导体过渡层,本文采用化学溶液法(Chemical solution deposition,简称CSD法),以乙酰丙酮镧和乙酰丙酮锆为溶质,丙酸为溶剂配制成前驱盐溶液,在立方织构的Ni-5 at%W基底上用快速一步法退火工艺制备了LZO种子层及双层LZO厚膜.SEM观察种子层呈岛状均匀排列,符合种子层形貌特点.XRD结果显示0.06 mol/L浓度种子层上制备的LZO厚膜具有很强的双轴立方织构,其中(222)面Phi扫描和(400)面摇摆曲线半高宽值分别为6.37°和5.82°.SEM观察发现120 nm厚的LZO薄膜表面平整,无裂纹,为后续沉积YBCO提供了很好的模板.

参考文献

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