CSD-La3TaO7薄膜外延生长行为

稀有金属, 2016, 45(7): 1832-1835.

1.西北有色金属研究院,陕西西安,710016

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基金项目: 陕西省自然科学基金项目(2014JQ6202) 国际合作项目(2012DFA50780) 陕西省国际合作项目(2013KW12-03) 国家自然科学基金资助项目(51302225,51202201)

Epitaxial Growth Behavior of CSD-La3TaO7

研究CSD技术制备La3TaO7 (LTO)缓冲层过程中前驱液的热分解行为以及热处理工艺对薄膜取向生长的影响,通过选取恰当的LTO前驱液以及快速升温热处理的方法最终获得了良好c轴织构的LTO薄膜.

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