采用W70Cu30单靶磁控溅射与纯W、纯Cu双靶磁控共溅两种工艺,在多种基材上制备W-Cu薄膜,分析了薄膜的宏观形貌和组织结构.分析结果表明:单靶磁控溅射时,控制靶电压520 V,溅射电流0.8～1.2A,Ar气流量25 mL/min(标准状态),可在玻璃基体上镀得W-Cu薄膜,但退火时如温度过高,会使W和Cu两种元素原子偏聚加重;双靶磁控溅射时,控制Ar气流量20 mL/min(标准状态),Cu靶电流0.7A,W靶电流1.2A,溅射时间3600 s,可在硅基和玻璃基上镀得W-Cu薄膜,但在石墨基体、陶瓷基体及45钢基体上的镀膜效果不理想.
参考文献
| [1] | 曾莹莹,艾永平.铜-钨（钼）薄膜制备及应用的研究进展[J].表面技术,2010(03):90-93. |
| [2] | 梅芳,弓满锋,李玲.溅射技术在SiC薄膜沉积中的应用和工艺研究进展[J].表面技术,2008(02):75-78. |
| [3] | 李云平,曲选辉,段柏华.W-Cu（Mo-Cu）复合材料的最新研究状况[J].硬质合金,2001(04):232-236. |
| [4] | 周武平,吕大铭.钨铜材料应用和生产的发展现状[J].粉末冶金材料科学与工程,2005(01):21-25. |
| [5] | 马莒生,黄福祥,黄乐,耿志挺,宁洪龙,韩振宇.铜基引线框架材料的研究与发展[J].功能材料,2002(01):1-4. |
| [6] | 周贤良,吴江晖,张建云,华小珍,周云军.电子封装用金属基复合材料的研究现状[J].南昌航空工业学院学报(自然科学版),2001(01):11-15. |
| [7] | 陈文革,王纯.集成电路用金属铜基引线框架和电子封装材料研究进展[J].材料导报,2002(07):29-30,57. |
| [8] | Young Jung Lee;Byung-Hoon Lee;Gil-Su Kim .Evaluation of conductivity in W-Cu composites through the estimation of topological microstructures[J].Materials Letters,2006(16):2000-2003. |
| [9] | 高维娜,王庆相,杨怡,范志康.靶材用钨铜复合材料的制备工艺[J].稀有金属材料与工程,2010(05):892-895. |
| [10] | 李英.铜钨（钼）薄膜的制备及应用[J].东莞理工学院学报（自然科学版）,2005(01):20-24. |
| [11] | HUBLER G K;SPRAGUE J A .Energetic Particles in PVD Technology:Particle-surface Interaction Processes and Energy-particle Relationships in Thin Film Deposition[J].Surface and Coatings Technology,1996,81(01):29-35. |
| [12] | R.L. Zong;S.P. Wen;F. Zeng .Nanoindentation studies of Cu-W alloy films prepared by magnetron sputtering[J].Journal of Alloys and Compounds: An Interdisciplinary Journal of Materials Science and Solid-state Chemistry and Physics,2008(1/2):544-549. |
| [13] | SALTO S;FUKAYA S K;ISHIYAMA S et al.Mechanical Properties of HIP Bonded W and Cu-alloys Joint for Plasma Facing Components[J].Nuct Mater,2002,307:1542-1554. |
| [14] | M. Amirjan;K. Zangeneh-Madar;N. Parvin .Evaluation of microstructure and contiguity of W/Cu composites prepared by coated tungsten powders[J].International Journal of Refractory Metals & Hard Materials,2009(4):729-733. |
| [15] | 汪渊,陈元华,徐可为,马栋林,范多旺.Cu-W薄膜表面形貌各向异性与相结构[J].金属学报,2005(02):123-127. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%