Fe_x(In_2O_3)_(1-x)磁性颗粒膜的微结构与磁性

金属学报, 1998, 34(10): 1095-1098.

Fe_x(In_2O_3)_(1-x)磁性颗粒膜的微结构与磁性

张连生 , 张林 , 张汝贞 , 刘宜华 , 张维咸 , 黄宝歆

山东大学物理系

济南

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基金项目: 国家自然科学基金!59571016

关键词：金属颗粒膜 , microstructure , semiconductor , super-paramagnetism

MICROSTRUCTURE AND MAGNETIC PROPERLY OF Fe_x(In_2O_3)_(1-x) MAGNETIC GRANULAR FILMS

ZHANG Liansheng , ZHANG Lin , ZHANG Ruzhen , LIU Yihua , ZHANG Weixian , HUANG Baoxin(Department of Physics

Keywords： metallic granular film , 微结构 , 半导体 , 超顺磁性

用射频溅射法制备了金属／半导体Fex（In2O_3）(1-x)颗粒膜．用XRD，TEM辅以磁性测量研究了该系列颗粒膜的微结构实验结果表明，纳米尺度的Fe颗粒均匀地分散在非晶态In2O3中．退火可使In2O3晶化，其晶格常数与Fe的体积分数有关；退火可使Fe颗粒长大，由超顺磁性变为铁磁性．

Metal/semiconductor Fex (In2O3)1-x granular films were prepared by the rfsputtering. The microstructure was studied by using XRD, TEM and magnetic measurements.The results showed that the nanometer-sized Fe particles uniformly dispersed in the amorphousIn2O3. Appropriate annealing leads to the crystallization of In2O3 films and the growth of theFe particle size. As a result, the magnetic behavior of the films transits from superparamagneticto ferromagnetic. The variation of the lattice constant for In2O3 depends on the volume fractionof Fe particles.

参考文献

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