选用马日夫盐、三氯化锑、酒石酸钠、磷酸、钼酸钠及自制的聚合物-A和聚合物-B为黑化液的主要成分,通过正交试验优化出了最佳配比,即:马日夫盐8.0 g/L,三氯化锑6.0 g/L,酒石酸钠6.0 g/L,磷酸50g/L,钼酸钠1.0 g/L,聚合物-A 1.0 g/L,聚合物-B 1.5 g/L.测试结果表明,采用该黑化液得到的黑化膜致密、均匀,抗蚀性好.
参考文献
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