连续式离子层吸附与反应法沉积CuSCN薄膜及其微观结构、光学特性研究

无机材料学报, 2009, 24(1): 8-12.

连续式离子层吸附与反应法沉积CuSCN薄膜及其微观结构、光学特性研究

诸葛福伟 ^1, , 高相东 ^2, , 李效民 ^3, , 甘小燕 ^4,

1.中国科学院,上海硅酸盐研究所,高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海,200050;中国科学院,研究生院,北京,100049

2.中国科学院,上海硅酸盐研究所,高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海,200050

3.中国科学院,上海硅酸盐研究所,高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海,200050

4.中国科学院,上海硅酸盐研究所,高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海,200050;中国科学院,研究生院,北京,100049

基金项目: 上海市应用材料研究与发展项目(06SA07) 国家自然科学基金(10576036)

关键词： CuSCN , 连续式离子层吸附与反应 , 微观结构 , 光学性能

Microstructure and Optical Properties of CuSCN Thin Film Deposited by Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction (SILAR) Method

采用乙二醇作溶剂,以连续式离子层吸附与反应法(SILAR)实现硫氰酸亚铜(CuSCN)薄膜在ITO、TiO2薄膜以及玻璃衬底上的沉积.通过X射线衍射、扫描电镜和紫外-可见光透过谱等手段表征薄膜结晶性、表面和断面微观形貌以及光学特性.结果表明,衬底以及溶剂性质均对SILAR法薄膜沉积过程存在重要影响.ITO衬底上获得的CuSCN薄膜更为致密,呈结晶态,而TiO2薄膜衬底上的CuSCN薄膜主要由颗粒组成,为非晶态.随沉积次数增加,薄膜表面粗糙度增大,光学透过率逐渐下降.在优化条件下(ITO衬底,20次沉积循环),所得CuSCN薄膜表面致密均匀,可见光透过率约60%.

参考文献

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