采用喷雾热分解(Spray pyrolysis)方法,以NH4F、SnCl2·2H2O为原料,对反应液配方进行了优化,在普通玻璃衬底上制备出了光电性能优良的掺F二氧化锡透明导电薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV/VIS)对薄膜的结构、形貌、光学、电学特征进行了表征和分析.结果表明:在衬底温度为500℃, NH4F/SnCl2·2H2O的质量百分比为20%,喷涂时间为15s时掺F二氧化锡薄膜的方块电阻最低达到6.2Ω/□,可见光透射率为86.95%,且薄膜晶粒均匀,表面形貌平整致密.
参考文献
| [1] | Jarzebski Z M;Marton J P .Physical properties of SnO2 materials Ⅱ,electrical properties[J].Journal of the Electrochemical Society,1976,123(09):299. |
| [2] | Pan C A;Ma T P .High quality transparent conductive oxide films prepared by thermal evaporation[J].Applied Physics Letters,1980,37:163. |
| [3] | 雷智,冯良桓,张静全,蔡亚平,蔡伟,郑家贵,李卫,武莉莉,黎兵,蔡道林,夏庚培,鄢强.透明SnO2薄膜的制备及结构、性质研究[J].太阳能学报,2004(05):624-628. |
| [4] | 贾维国;宋晓琴;张常在 等.SnO2薄膜的喷涂法制备[J].内蒙古大学学报(自然科学版),1999,30(06):697. |
| [5] | 郭玉忠,王剑华,黄瑞安,王贵青.掺杂SnO2透明导电薄膜电学及光学性能研究[J].无机材料学报,2002(01):131-138. |
| [6] | 范志新,陈玖琳,孙以材.二氧化锡薄膜的最佳掺杂含量理论表达式[J].电子器件,2001(02):132-135. |
| [7] | 薄占满 .掺Sb二氧化锡半导体导电机理的实验探讨[J].无机材料学报,1990,5(04):324. |
| [8] | 莫建良,陈华,曹涯雁,刘起英,汪建勋,翁文剑,韩高荣.F掺杂SnO2透明导电薄膜微结构及性能研究[J].太阳能学报,2004(02):152-156. |
| [9] | 史金涛 .溶胶凝胶法Sb掺杂SnO<,2>薄膜的制备、性能及新型节能镀膜玻璃的研究[D].浙江大学,2002. |
| [10] | Vossen J L.Transparent conducting films[J].Physics of Thin Film,1977(09):1. |
| [11] | 张聚宝,侯春,翁文剑,程逵,杜丕一,沈鸽,汪建勋,韩高荣.喷雾热解法制备SnO2：Sb透明导电薄膜[J].硅酸盐学报,2003(11):1063-1068. |
| [12] | Thangaraju B. .Structural and electrical studies on highly conducting spray deposited fluorine and antimony doped SnO2 thin films from SnCl2 precursor[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,2002(1/2):71-78. |
| [13] | 赵鹏,郝喜红,许启明,姚燕燕,田晓珍.喷雾热分解法制备SnO2·F薄膜与导电性能研究[J].功能材料与器件学报,2005(02):202-206. |
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