AlN压电薄膜材料研究进展

稀有金属材料与工程, 2002, 31(6): 456-459.

AlN压电薄膜材料研究进展

许小红 ^1, , 武海顺 ^2, , 张富强 ^3, , 段静芳 ^4, , 李佐宜 ^5,

1.华中科技大学,湖北武汉,430074;山西师范大学,山西临汾,041004

2.山西师范大学,山西临汾,041004

3.山西师范大学,山西临汾,041004

4.山西师范大学,山西临汾,041004

5.华中科技大学,湖北武汉,430074

基金项目: 山西省青年科研项目(20011011) 教育部高校骨干教师资助计划

关键词： AlN压电薄膜 , 结构 , 制备 , 应用

The Research Progress of AlN Piezoelectric Thin Films

AlN压电薄膜材料具有许多优异的物理化学性质,本文对该薄膜材料的发展,结构特征,制备方法进行了综述,并对其应用前景进行了展望.

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