锂磷氧氮电解质薄膜制备与性能研究

功能材料, 2005, 36(7): 1050-1055.

锂磷氧氮电解质薄膜制备与性能研究

赵胜利 ^1, , 文九巴 ^2, , 杨涤心 ^3, , 傅正文 ^4,

1.河南科技大学,材料学院,河南,洛阳,471003

2.河南科技大学,材料学院,河南,洛阳,471003

3.河南科技大学,材料学院,河南,洛阳,471003

4.复旦大学,激光所,上海,200433

基金项目: 河南科技大学校科研和教改项目(2004QN010) 国家自然科学基金(20083001) 河南科技大学校科研和教改项目(04015)

关键词：电解质 , LiPON , 薄膜 , 锂电池 , PLD

The properties and fabrication of lithium phosphorus oxynitride electrolyte thin films

首次采用355nm脉冲激光沉积(PLD)法在N2压强26.6Pa、激光能量密度15J/cm2、靶-基片距离5cm、基片温度为室温条件下制备了室温离子电导率为1.6×10-6S/cm、厚度均匀、无针孔、无裂缝的非晶态LiPON电解质薄膜.考察了反应气氛压强、激光能量密度对LiPON薄膜电化学性能的影响,并利用台阶仪、XPS、EDX、SEM等分析方法对薄膜进行表征.

参考文献

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The properties and fabrication of lithium phosphorus oxynitride electrolyte thin films

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