低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能

机械工程材料, 2013, 37(11): 55-63.

低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能

高晓明 ^1, , 孙嘉奕 ^2, , 胡明 ^3, , 翁立军 ^4, , 伏彦龙 ^5, , 杨军 ^6, , 谭洪根 ^7, , 张良俊 ^8,

1.上海市空间飞行器机构重点实验室,上海201108;中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730000

2.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730000

3.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730000

4.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730000

5.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730000

6.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730000

7.上海市空间飞行器机构重点实验室,上海201108

8.上海市空间飞行器机构重点实验室,上海201108

基金项目: 国家自然科学基金资助项目(50301015,51227804)

关键词：低温沉积 , 银铜薄膜 , 耐原子氧性能

Atomic Oxygen Resistant Behavior of Ag and Ag-Cu Films Deposited at Low Temperature

GAO Xiao-ming ^1, , SUN Jia-yi ^2, , HU Ming ^3, , WENG Li-jun ^4, , FU Yan-long ^5, , YANG Jun ^6, , TAN Hong-gen ^7, ,

1.上海市空间飞行器机构重点实验室,上海201108;中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730000

2.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730000

3.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730000

4.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730000

5.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730000

6.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730000

7.上海市空间飞行器机构重点实验室,上海201108

Keywords： low temperature deposition , Ag-Cu film , AO resistant behavior

采用多弧离子镀方法在低温(173 K)下沉积了银和银铜薄膜,通过地面原子氧模拟试验系统考察了薄膜的耐原子氧性能,通过X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构和耐原子氧性能进行了分析,并与室温下沉积的银薄膜进行了比较.结果表明:低温沉积和铜元素合金化,可减小银薄膜的晶粒尺寸,并提高其结构致密性;低温沉积的银铜薄膜表现出细密的结构,这有利于抑制原子氧对薄膜的氧化,从而使其比室温及低温下沉积的银薄膜具有更好的耐原子氧性能.

参考文献

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