主要研究了磁控溅射Nb层厚度与基体Zr-4合金之间附着力的关系,并对涂层的生长和经溅射后出现的一些现象进行了讨论.
参考文献
[1] | 吴自勤;王兵.薄膜生长[M].北京:科学出版社,2001:213. |
[2] | Smith RW.;Srolovitz DJ. .VOID FORMATION DURING FILM GROWTH - A MOLECULAR DYNAMICS SIMULATION STUDY[J].Journal of Applied Physics,1996(3):1448-1457. |
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