SrTiO3薄膜材料的高分辨率X射线衍射分析研究

功能材料, 2004, 35(z1): 3311-3313.

1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

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5.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

STO films' research with a HRXRD

本文应用高分辨X射线衍射(HRXRD+TAXRD)技术对外延生长的SrTiO3膜进行了分析,获得了有关该薄膜的晶体取向、衬底的结构特性以及弛豫态的点阵常数等信息,对今后改进SrTiO3系列样品生长工艺有重要的意义.

[1]	He S M;Li D H;Deng X W et al.[J].Microelectronic Engineering,2003,66:891-895.

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