在O2/Ar气氛中,用射频磁控溅射法在常温下溅射V2O5粉末靶得到氧化钒薄膜.在350℃热处理后,经XRD分析.薄膜的主要成分为V2O5.在不同温度下对v2O5薄膜作了对"空气和SO2"的混合气氛的敏感特性测试分析,发现在300～390℃范围内,薄膜对SO2气体灵敏度随温度的升高而增大,在超过390℃后,灵敏度随温度升高而降低.在SO2气体去除后,薄膜的电阻值能恢复到初始状态,气敏过程可反复进行.文章对V2Os薄膜的气敏机理作了定性描述.
参考文献
| [1] | RamirezR;CasalB;Utrera L et al.[J].Journal of Physical Chemistry,1990,94:8960-8965. |
| [2] | ElizabethE;Chain .[J].Applied Optics,1991,30(19):2782-2787. |
| [3] | 李玉敏.工业催化原理[M].天津:天津大学出版社,1992 |
| [4] | 德博尔JH;柳正辉;王果庭.吸附的动力学特性[M].北京:科学出版社,1964 |
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