Ti-Si-N纳米复合超硬薄膜的高温热稳定性

稀有金属材料与工程, 2005, 34(11): 1778-1781.

Ti-Si-N纳米复合超硬薄膜的高温热稳定性

徐建华 ^1, , 马大衍 ^2, , 马胜利 ^3, , 徐可为 ^4,

1.西安交通大学,金属材料强度国家重点实验室,陕西,西安,710049

2.西安交通大学,金属材料强度国家重点实验室,陕西,西安,710049

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4.西安交通大学,金属材料强度国家重点实验室,陕西,西安,710049

关键词：等离子体增强化学气相沉积(PCVD) , Ti-Si-N薄膜 , 微观结构,高温热稳定性

Thermal Stability of Ti-Si-N Super Hard Nanocomposite Coatings

用脉冲直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法在高速钢(HSS)基体上制备了Ti-Si-N薄膜,重点从不同温度退火后薄膜相结构、晶粒尺寸和显微硬度的变化等方面,探讨了不同Si含量的Ti-Si-N薄膜的高温热稳定性.结果表明:Ti-Si-N薄膜在900℃以内退火处理后,晶粒尺寸和显微硬度并无明显突变,尤其是Si含量较低时,在800℃,晶粒尺寸和显微硬度几乎没有变化,表明Ti-Si-N薄膜具有非常良好的高温热稳定性,这可能与薄膜相形成在高温下仍为调幅分解有关.

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