采用微波等离子体化学气相沉积法在不锈钢衬底上制备出了纳米非晶碳和碳纳米管混合薄膜,二极管结构测试表明薄膜材料具有优良的场发射性能.利用制备的薄膜材料作为阴极制作了前栅极结构的场发射三极管器件并对其性能进行了测试.结果表明该器件具有优良的栅控性能,亮度很高,有良好的应用前景.
参考文献
[1] | Kamada K.;Ikuno T.;Takahashi S.;Oyama T.;Yamamoto T.;Kamizono M. Ohkura S.;Honda S.;Katayama M.;Hirao T.;Oura K. .Surface morphology and field emission characteristics of carbon nanofiber films grown by chemical vapor deposition on alloy catalyst[J].Applied Surface Science: A Journal Devoted to the Properties of Interfaces in Relation to the Synthesis and Behaviour of Materials,2003(0):383-387. |
[2] | Huh Y.;Lee JY.;Lee JH.;Lee TJ.;Lyu SC.;Lee CJ. .Selective growth and field emission of vertically well-aligned carbon nanotubes on hole-patterned silicon substrates[J].Chemical Physics Letters,2003(3-4):388-392. |
[3] | G.S. Choi;K.H. Son;D.J. Kim .Fabrication of high performance carbon nanotube field emitters[J].Microelectronic engineering,2003(1/4):206-212. |
[4] | 樊志琴,蔡根旺,王世建,李瑞,张君德,程仁志,张兵临.碳纳米管膜场发射三极管的制备及特性研究[J].液晶与显示,2008(01):30-34. |
[5] | 仲雪飞,张雄,尹涵春,王保平.前栅极碳纳米管场发射显示板关键结构参数的研究[J].真空科学与技术学报,2010(01):33-37. |
[6] | 林志贤,郭太良,张婷.平行栅结构氧化锌场致发射显示器的研制[J].光学学报,2010(02):518-524. |
[7] | 张新月,姚宁,王英俭,张兵临.非晶碳和碳纳米管混合薄膜的场发射性能[J].半导体学报,2008(08):1484-1486. |
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