有机波导制备工艺对乐甫波传感器性能的影响

功能材料, 2009, 40(3): 427-435.

1.电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054

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基金项目: 高等学校博士学科点专项科研基金(20070614047) 国家自然科学基金(60736005)

Effect of organic guiding layer preparation technique on properties of love wave sensor

研究了基于PMMA波导的乐甫波传感器,研究了器件的插损以及质量灵敏度随波导层厚度变化的关系.采用低浓度、低粘度的前驱溶液,多步旋涂工艺制备了PMMA波导薄膜,降低了器件的插损,实现了2.18/μm的"有效厚度",器件的质量灵敏度达705cm2/g,与前人相比提高了1倍.

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