采用化学腐蚀-金相显微镜法,利用熔融的KOH对顶部籽晶温度梯度法(TSTGT)生长的直径320 mm的蓝宝石单晶中不同部位的晶片做了位错腐蚀形貌分析.研究表明,(0001)面的位错腐蚀坑呈三角形,腐蚀晶界具有延伸性.对比不同腐蚀时间、不同腐蚀温度和不同表面粗糙度下的腐蚀效果,发现使用KOH腐蚀剂在400℃腐蚀15min时,效果最好.表面粗糙度越小,位错图像越清晰.
参考文献
| [1] | 张义广,丁明跃,蔡超,周成平.高温高速流场条件下蓝宝石材料对红外成像影响分析[J].人工晶体学报,2005(02):259-264. |
| [2] | 聂辉,陆炳哲.蓝宝石及其在军用光电设备上的应用[J].舰船电子工程,2005(02):131-133,142. |
| [3] | 王如刚,陈振强,胡国永.几种LED衬底材料的特征对比与研究现状[J].科学技术与工程,2006(02):121-126. |
| [4] | 柯利峰,黎建明,苏小平,那木吉拉图,李楠.热交换法生长蓝宝石晶体的位错研究[J].人工晶体学报,2009(03):625-628,647. |
| [5] | 彭观良,周国清,庄漪,邹军,王银珍,李抒智,杨卫桥,周圣明,徐军.r面白宝石单晶的温梯法生长及缺陷研究[J].人工晶体学报,2005(04):653-656. |
| [6] | 吕海涛,张维连,左燕,步云英.化学腐蚀法研究蓝宝石单晶中的位错缺陷[J].半导体技术,2004(04):48-51. |
| [7] | 张雪平.热交换法生长c面取向大尺寸蓝宝石晶体的研究[J].人工晶体学报,2012(03):584-587. |
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