电弧离子镀AlCrN沉积层初期氧化形貌、组构及反应机制

材料保护, 2010, 43(12): 25-30.

电弧离子镀AlCrN沉积层初期氧化形貌、组构及反应机制

李月巧 ^1, , 李伟洲 ^2, , 梁天权 ^3, , 胡治流 ^4, , 孙超 ^5,

1.广西大学有色金属及材料加工新技术教育部重点实验室,广西,南宁,530004

2.广西大学有色金属及材料加工新技术教育部重点实验室,广西,南宁,530004;中国科学院金属研究所表面工程部,辽宁,沈阳,110016

3.广西大学有色金属及材料加工新技术教育部重点实验室,广西,南宁,530004

4.广西大学有色金属及材料加工新技术教育部重点实验室,广西,南宁,530004

5.中国科学院金属研究所表面工程部,辽宁,沈阳,110016

基金项目: 国家自然科学基金(51001032) 广西科学基金资助项目(桂科基0731013;2010GXNSFD013006) 广西大学科研基金(XBZ090331)

关键词：电弧离子镀 , AlCrN沉积层 , 初期氧化 , 真空退火

Morphology, Microstructure and Reaction Mechanism of Arc-Ion Plated AlCrN Coating at Initial Oxidation Stage

为了弄清AlCrN涂层在高温环境中的抗氧化机制,采用电弧离子镀技术制备了AlcrN涂层,对真空退火和短时氧化处理后的沉积层采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)分析和元素成分(EDS)进行了观察和分析.结果表明:真空退火处理的沉积层中CrN相逐渐转变为Cr2N,并释放出N2;在900,1000℃下氧化1～5 h,沉积层中部分Cr2N与O2反应生成Cr2O3,此时涂层的物相以Cr2N和Cr2O3为主,并含少量CrAlN相;氧化至10 h,沉积层表面生成以Cr2O3和Al2O3为主的氧化膜,此氧化膜的生成有利于涂层抗氧化性能的提高.

参考文献

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