目前,鲜见有关脉冲偏压对多弧离子镀CrAlN薄膜耐蚀性能影响的报道.以不同的脉冲偏压在304不锈钢表面多弧离子镀CrAlN薄膜.采用扫描电镜、显微镜、X射线衍射仪、硬度仪、粗糙度仪分析了CrAlN薄膜的表面形貌、相结构、硬度、表面粗糙度及耐蚀性能,分析了脉冲偏压对相关性能的影响.结果表明:随着脉冲偏压幅值的增大,CrAlN薄膜表面大颗粒及凹坑尺寸和数量减少,薄膜质量提高;CrAlN薄膜主要由(Cr,Al)N相组成,随着偏压增加,CrAlN薄膜出现(220)择优取向;CrAlN薄膜表面粗糙度随脉冲偏压增大而减小,显微硬度随脉冲偏压的增大而增大;CrAlN薄膜在3.5％ NaCl溶液中的耐蚀性随着脉冲偏压的增大而增大,脉冲偏压为400 V时,CrAlN薄膜与基体304不锈钢的腐蚀速率之比为0.34,薄膜的综合性能最好.
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