爆炸压实烧结ITO陶瓷靶材的实验研究

1.大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室,辽宁,大连,116024

2.大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室,辽宁,大连,116024

基金项目: 辽宁省自然科学基金(2001101075) 中国科学院资助项目(10172025)

Experimental Investigation on ITO Ceramic Target by Using Exploring-Compression Nano-Powder and Sinter Technique

通过爆炸压实烧结纳米ITO粉末制备了ITO陶瓷靶材,结果表明爆炸冲击压实在靶材的后续烧结密实过程中起到了促进作用,它与常规的加压烧结相比,具有操作简单,设备要求低等很多优点.经过爆炸压实的烧结靶材具有细小的晶体颗粒,比商业靶材的晶粒度小约1个数量级.

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