根据化学镀CoFeB薄膜试验得到镀液中反应物浓度、pH值、温度以及对应沉积速率.利用回归分析的研究方法,建立了沉积速率的多元线性回归分析的数学模型:y=b0+∑ri=1bixi 沉积量与反应物浓度、pH值等实验数据的相关性用剩余方差S来表征,借助于计算机编程运算,求出回归系数与回归系数的估计值b0-6、估计值的置信区间、残差r、残差的置信区间rint.研究上述诸因素所对应的反应动力学参数,求出了镀液沉积速率的方程式:v=k[Co2+]0.82[Fe]0.38[BH-4]1.62[OH-]0.83[L1]-1.02[L2]-0.95exp(-Ea/RT)以及通过上述的线形回归分析和实验验证可以得到化学镀CoFeB最佳配方.
参考文献
| [1] | Hu Wangyu;Zhang Bangwei.[J].Physical Review B:396-400. |
| [2] | Tokihiko Y;Daiju K.[J].Journal of Electroanalytical Chemistry,2000:197-202. |
| [3] | Sobue M;Segawa T;Yokoshima T.[J].IEEE Transactions on Magnetics,2002(05):2228-2230. |
| [4] | García D;Munoz J L;Kurlyandskaya G.[J].Journal of Magnetism and Magnetic Materials,1999(03):339-344. |
| [5] | Itabashi T;Nakano H;Akahoshi H.Electroless Deposited CoWB for Copper Diffusion Barrier Metal,Interconnect Technology Conference[A].,2002:285-287. |
| [6] | Durairajan A;Harau B S;Popov B N.Development of High Performance Metal Hydride Alloys by Cobalt Microencapsulation[A].,1999 |
| [7] | 陈立佳;王赫莹;赵忠俭.[J].电镀与涂饰,1997(02):9-12. |
| [8] | 王玲玲,赵立华,张邦维.化学镀Fe-Mo-W-B非晶态合金的晶化[J].稀有金属材料与工程,1998(05):282-285. |
| [9] | 李海华;冯则坤;何华辉.[J].材料保护 |
| [10] | 何红宇;江建军;邓联文.[J].信息材料:51-53. |
| [11] | 郭磊;江建军;邓联文.[J].功能材料,2004:359. |
| [12] | 安维,张凌,龚荣州.多元酯塑料化学镀镍-磷工艺研究[J].电镀与涂饰,2002(01):13-15,22. |
| [13] | 姜晓霞;沈伟.化学镀理论及实践[M].北京:国防工业出版社,2000 |
| [14] | 曾跃;姚素薇.电镀磁性镀层[M].天津:天津大学出版社,1998:89. |
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