常用的钼基片镀钌前预处理工艺包括碱洗除油、阳极浸蚀、酸洗、活化、预镀冲击镍.讨论了预处理工艺中碱洗工艺方案、阳极浸蚀的电流密度和时间,以及预镀冲击镍的电流波形对钌镀层结合力的影响.在65℃的50 g/L氢氧化钠溶液中以阳极电流密度16 A/dm<'2>处理2 min,在体积分数为200 mL/L的硫酸溶液中以阳极电流密度0.05～0.10 A/dm<'2>浸蚀30～45s,采用占空比60%、频率1 kHz、平均电流密度10 A/dm<'2>的脉冲电流在20～30 ℃的240 g/L氯化镍+100 g/L盐酸溶液中预镀镍,可保证钌镀层结合力良好.
参考文献
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