Sol-gel独立前驱单体制备PZT铁电薄膜技术

功能材料, 2004, 35(4): 417-422.

1.电子科技大学,微固学院,四川,成都,610054

2.电子科技大学,微固学院,四川,成都,610054

3.电子科技大学,微固学院,四川,成都,610054

4.电子科技大学,微固学院,四川,成都,610054

Separated precursor-monomer for sol-gel preparation PZT ferroelectric film

采用醋酸铅、硝酸氧锆(硝酸锆)、钛酸丁酯独立稳定的前驱单体,sol-gel法旋转涂膜技术制备了PZT铁电薄膜.研究了水的添加量对溶胶形成的影响,比较了不同的溶胶浓度、膜层结构(PT/PZT/PT Sandwich)及热处理工艺条件对薄膜结构、铁电性能的影响.

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