利用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)衬底上制备了ZnO、Zn0.8Mn0.2O、Zn0.8Co0.2O薄膜.薄膜的晶体结构和表面形貌采用X射线衍射仪和原子力显微镜测试.表明薄膜具有明显的c轴择优生长取向,薄膜表面较为平整,颗粒尺寸在纳米量级,薄膜中晶粒的生长模式为"柱状"模式.此外,Mn、Co掺入后,薄膜的X射线衍射峰有小角度偏移,这与 Mn2+、Co2+离子半径有关.PL谱显示Mn、Co掺杂ZnO薄膜的蓝、绿发光峰的位置相对纯的ZnO薄膜没有改变,还出现了紫外发光峰,其中Mn掺杂的蓝、绿光峰的强度减弱,Co掺杂的蓝光峰强度减弱,绿光峰强度增强.这是因为Mn、Co掺入改变了ZnO本征缺陷的浓度,发光峰的强度也随之而改变.
参考文献
| [1] | Gao X D;Li X M;Yu W D .[J].Materials Research Bulletin,2005,40:1104. |
| [2] | 李伙全,宁兆元,程珊华,江美福.射频磁控溅射沉积的ZnO薄膜的光致发光中心与漂移[J].物理学报,2004(03):867-870. |
| [3] | 朋兴平,兰伟,谭永胜,佟立国,王印月.Cu掺杂氧化锌薄膜的发光特性研究[J].物理学报,2004(08):2705-2709. |
| [4] | Tiwari A.;Jin C.;Kvit A.;Kumar D.;Muth JF.;Narayan J. .Structural, optical and magnetic properties of diluted magnetic semiconducting Zn1-xMnxO films[J].Solid State Communications,2002(6/7):371-374. |
| [5] | Han S H;Lee B Y et al.[J].Magnetism and Magnetic Materials,2004,272:2008. |
| [6] | de Posada E.;Tobin G.;McGlynn E.;Lunney JG. .Pulsed laser deposition of ZnO and Mn-doped ZnO thin films[J].Applied Surface Science: A Journal Devoted to the Properties of Interfaces in Relation to the Synthesis and Behaviour of Materials,2003(0):589-593. |
| [7] | 孙成伟,刘志文,张庆瑜.退火温度对ZnO薄膜结构和发光特性的影响[J].物理学报,2006(01):430-436. |
| [8] | 徐彭寿,孙玉明,施朝淑,徐法强,潘海斌.ZnO及其缺陷的电子结构[J].中国科学A辑,2001(04):358-365. |
| [9] | Yan L;Ong C K .[J].Journal of Applied Physics,2004,96:508. |
| [10] | Vanheu Sden K;Warren W L;Sea Ger C H et al.[J].Applied Physics Letters,1996,79:7983. |
| [11] | 方泽波,龚恒翔,刘雪芹,徐大印,黄春明,王印月.退火对多晶ZnO薄膜结构与发光特性的影响[J].物理学报,2003(07):1748-1751. |
| [12] | Janisch R;Gopal P;Spaldin N A .[J].Journal of Physics:Condensed Matter,2005,17:R657. |
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