硅太阳电池用MgF2/ZnS双层减反射薄膜的制备及表征

人工晶体学报, 2009, 38(3): 547-551.

硅太阳电池用MgF2/ZnS双层减反射薄膜的制备及表征

孙秀菊 ^1, , 李海玲 ^2, , 励旭东 ^3, , 任丙彦 ^4, , 周春兰 ^5, , 赵雷 ^6, , 王文静 ^7,

1.中国科学院电工研究所,北京,100190;河北工业大学,天津,300130

2.中国科学院电工研究所,北京,100190

3.北京市太阳能研究所,北京,100083

4.河北工业大学,天津,300130

5.中国科学院电工研究所,北京,100190

6.中国科学院电工研究所,北京,100190

7.中国科学院电工研究所,北京,100190

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)(2007AA05Z437)

关键词： ZnS薄膜 , MgF2薄膜 , 减反射薄膜 , 真空热蒸发

Preparation and Characterization of MgF2/ZnS Double-layer Antireflection Films Applied in Silicon Solar Cells

采用真空热蒸发技术,制备出了性能优良的MgF2/ZnS双层减反射薄膜.采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪对薄膜的形貌以及结晶形态进行分析,采用椭圆偏振仪测试薄膜的折射系数及厚度,利用反射谱对双层减反射薄膜的减反射性能进行了表征.研究表明:衬底温度为200 ℃时薄膜附着力、结晶态良好;蒸发速率影响薄膜的表面形态;MgF2/ZnS厚度为110 nm/35 nm时具有最佳减反射效果.

参考文献

[1]	袁海荣,向贤碧,常秀兰,陆大成.AlxGa1-xAs/GaAs太阳电池MgF2/ZnS双层减反射膜的研究[J].太阳能学报,2000(04):371-378.
[2]	Lien SY;Wuu DS;Yeh WC;Liu JC .Tri-layer antireflection coatings (SiO2/SiO2-TiO2/TiO2) for silicon solar cells using a sol-gel technique[J].Solar Energy Materials and Solar Cells: An International Journal Devoted to Photovoltaic, Photothermal, and Photochemical Solar Energy Conversion,2006(16):2710-2719.
[3]	Zhang GC.;Green MA.;Zhao JH. .Effect of substrate heating on the adhesion and humidity resistance of evaporated MgF2/ZnS antireflection coatings and on the performance of high-efficiency silicon solar cells[J].Solar Energy Materials and Solar Cells: An International Journal Devoted to Photovoltaic, Photothermal, and Photochemical Solar Energy Conversion,1998(3/4):393-400.
[4]	苏现军,何家元.硫化锌基底上减反膜的镀制[J].光学仪器,2001(05):68-70.
[5]	于琳,韩新海,王冠中,揭建胜,廖源,余庆选,方容川.脉冲激光淀积MgF2薄膜的制备及性质研究[J].量子电子学报,2004(01):48-50.
[6]	史守华,何玉平,宋学萍,孙兆奇.Si基片上射频磁控溅射MgF2薄膜的光学常数研究[J].合肥工业大学学报(自然科学版),2003(03):384-387.
[7]	F. Perales;J.M. Herrero;D. Jaque;C. de las Heras .Improvement of MgF_2 thin coating films for laser applications[J].Optical materials,2007(7):783-787.
[8]	尚淑珍,赵祖欣,邵建达.沉积温度对热舟蒸发MgF2薄膜性能的影响[J].强激光与粒子束,2008(03):396-400.
[9]	Zhao J.;Green M.A. .Optimized antireflection coatings for high-efficiency silicon solar cells[J].IEEE Transactions on Electron Devices,1991(8):1925-1934.
[10]	Tadeusz Wiktorczyk;Michal Oles .Design, fabrication and optical characterization of cerium oxide-magnesium fluoride double layer antireflection coatings on monocrystalline silicon substrates[J].Optical materials,2007(12):1768-1773.
[11]	张亚非.半导体集成电路制造技术[M].北京:高等教育出版社,2006:121.
[12]	唐伟忠.薄膜材料制备原理、技术及应用[M].北京:冶金工业出版社,2007:277.
[13]	荣立霞 .真空蒸发制备ZnS薄膜及其性能研究[J].内蒙古大学学报(自然科学版),1999,30(04):454-457.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网

硅太阳电池用MgF2/ZnS双层减反射薄膜的制备及表征

Preparation and Characterization of MgF2/ZnS Double-layer Antireflection Films Applied in Silicon Solar Cells

参考文献