AZ5214E反转光刻胶的性能研究及其在剥离工艺中的应用

功能材料, 2005, 36(3): 431-440.

1.福州大学,电子系,福建,福州,350002

2.福州大学,电子系,福建,福州,350002

3.厦门大学,萨本栋微机电中心,福建,厦门,361005

4.福州大学,电子系,福建,福州,350002

基金项目: 国家基金(60301006) 福建省自然科学基金(A0310012)

Study the performance of AZ5214E image-reversal photoresist and its uses in lift-off technics

研究了AZ52ME反转光刻胶的性能并选择适当的工艺可制得利于剥离的倒台面,并将其应用于射频MEMS开关的制作中剥离厚2μm的金薄膜.用扫描电镜(SEM)测出胶的侧壁为倒台面.

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