从铱盐和配体2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮(thd)出发合成了一种新的β二酮前驱体Ir(thd)3,通过元素分析、红外光谱、核磁共振氢谱等手段对合成的前驱体进行了结构表征.热重分析表明,当温度升到290℃,前驱体基本挥发完全.使用合成的前驱体通过MOCVD沉积制备铱薄膜,利用XRD和AFM分析手段对薄膜的结构和表面形貌进行了表征.结果表明,所得到的薄膜的物相为铱晶相,无其它的杂质峰存在,薄膜表面连续、致密.
参考文献
| [1] | Gerfin T et al.[J].Thin Solid Films,1993,241:352. |
| [2] | Song Y J et al.[J].Applied Physics Letters,2000,76(04):451. |
| [3] | John T H.[A].Chicago:AIAA,1988:25. |
| [4] | Chongying Xu et al.[J].Chemistry of Materials,1998,10:2329. |
| [5] | Yan X M et al.[J].Thin Solid Films,2001,391:62. |
| [6] | Philippe S et al.[J].Chemical Vapor Deposition,2001,7(02):59. |
| [7] | Sun Y M et al.[J].Thin Solid Films,1999,346:100. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%