过去,在不锈钢上沉积10μm以上多元多层软硬交替Ti/TiN/Zr/ZrN厚膜用以提高材料耐腐蚀性能的报道不多.采用阴极电弧离子镀结合脉冲偏压的方法制备了厚度选15 μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜.运用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、显微硬度计、划痕仪等考察了多层膜的形貌、厚度、相组成、硬度以及膜/基结合力,并利用电化学方法评价了基体、单层TiN薄膜以及多层膜的电化学腐蚀性能.结果表明:制备的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜界面明晰、结构致密、晶粒细小;膜/基结合力大于70 N,显微硬度达28 GPa;多层膜比单层TiN膜在提高1Cr11Ni2W2MOV基体的抗腐蚀能力方面具有更显著的作用.
参考文献
| [1] | 吴小梅,李伟光,陆峰.压气机叶片抗冲蚀涂层的研究及应用进展[J].材料保护,2007(10):54-57. |
| [2] | Vetter J .Vacuum arc coatings for tools:potential and application[J].Surface and Coatings Technology,1995,76/77:719-724. |
| [3] | Zhitomirsky V N;Grimberg L;Boxman R L et al.Vacuum arc deposition and microstructure of ZrN@based coatings[J].Surface and Coatings Technology,1997,94/95:207-212. |
| [4] | 闻立时.离子镀硬质膜技术的最新进展和展望[J].真空,2000(01):1-11. |
| [5] | Yang Q;Seo DY;Zhao LR;Zeng XT .Erosion resistance performance of magnetron sputtering deposited TiAlN coatings[J].Surface & Coatings Technology,2004(0):168-173. |
| [6] | Li Y;Qu L;Wang F H .The dectrochemical corrosion behavior of TiN and(Ti,Al)N coatings in acid and salt solution[J].Corrosion Science,2003,45(07):1367-1381. |
| [7] | Lang FQ.;Yu ZM. .The corrosion resistance and wear resistance of thick TiN coatings deposited by arc ion plating[J].Surface & Coatings Technology,2001(1/3):80-87. |
| [8] | 李成明,孙晓军,张勇,李桂英,曹尔妍,唐伟忠,吕反修.电弧离子镀薄膜中的颗粒尺寸及其影响的扫描电镜观察[J].电子显微学报,2004(03):252-256. |
| [9] | Wen L S;Huang R F;Guo L P et al.Microstructure and mechanical properties of metal/ceramic Ti/TiN nadtilayers[J].J Magnetism and Magnetic Mat,1993,126(01):200-202. |
| [10] | 李瑛,屈力,王福会,邵忠宝.TiN涂层电化学腐蚀行为研究Ⅰ.TiN涂层的保护性能与失效机制[J].中国腐蚀与防护学报,2003(02):65-69. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%