退火温度对P离子注入TiO2薄膜材料物理与生物学性能的影响

功能材料, 2004, 35(z1): 2449-2450.

1.西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官表面工程重点实验室,四川,成都,610031

2.西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官表面工程重点实验室,四川,成都,610031

3.西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官表面工程重点实验室,四川,成都,610031

4.西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官表面工程重点实验室,四川,成都,610031

5.西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官表面工程重点实验室,四川,成都,610031

6.西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官表面工程重点实验室,四川,成都,610031

7.西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官表面工程重点实验室,四川,成都,610031

基金项目: 国家重点基础研究发展计划(973计划)(G1999064706) 国家自然科学基金(30370407 30300087)

Influence of anneal temperature on the properties of P-implanted TiO2 biomedical thin film

利用离子注入技术在TiO2薄膜中注入P元素,然后分别在不同温度进行退火处理,得到一系列钛氧化物掺杂材料.随着退火温度的上升,P注入的TiO2薄膜材料电阻降低,与水的接触角在70度左右波动.通过LDH及血小板粘附实验,发现高温退火样品的血液相容性得到改善.

[1]	Nan H;Ping Y;Xuan C;Yongxang L;Xiaolan Z;Guangjun C;Zihong Z;Feng Z;Yuanru C;Xianghuai L;Tingfei X .Blood compatibility of amorphous titanium oxide films synthesized by ion beam enhanced deposition.[J].Biomaterials,1998(7/9):771-776.
[2]	赵杰,刘宝钧,李建蒙.硼离子注入半绝缘InP和N型InP的电特性研究[J].半导体学报,1995(10):766.

上一张下一张

计量

作者相关

文章评分