应用sol-gel技术,在普通载玻片上制备出透明的ZnO薄膜.由于醋酸锌前驱体在醇中的溶解度小,因此制备过程中,选用了质子化能很强的物质(如乙醇胺)改变了其在醇中的溶解度.本文还通过热分析、红外光谱等手段分析了不同温度下ZnO的sol-gel热分解过程,并应用AFM、X射线衍射和UV-Vis吸收光谱对sol-gel路线制得的薄膜进行表征.实验结果表明:二水醋酸锌-单乙醇胺-异丙醇体系sol-gel的热分解过程与纯二水醋酸锌过程的分解大相径庭.ZnO薄膜的sol-gel的分解趋于一步完成.预处理温度对ZnO薄膜的性能有显著影响.只有通过控制试验条件,才能保证ZnO薄膜的透光率.
参考文献
| [1] | Ohyama M;Kozuka H;Yoko T et al.[J].THIN SOLID FILMS,1999,306:78-85. |
| [2] | Ohyama M.;Yoko T.;Kozuka H. .Sol-gel preparation of transparent and conductive aluminum-doped zinc oxide films with highly preferential crystal orientation[J].Journal of the American Ceramic Society,1998(6):1622-1632. |
| [3] | Ohya Y.;Tanaka T.;Takahashi Y.;Saiki H. .MICROSTRUCTURE OF TIO2 AND ZNO FILMS FABRICATED BY THE SOL-GEL METHOD[J].Journal of the American Ceramic Society,1996(4):825-830. |
| [4] | Schuler T;Aegerter M A et al.[J].Thin Solid Films,1999,351:125-131. |
| [5] | Silva R F;Elisabet M et al.[J].Non-Crystalline Solids,1999,247:248-253. |
| [6] | 董庆年.红外光谱法[M].北京:中国石化出版社,1977 |
| [7] | Sakohara S;Tickanen L D;Anderson M A .[J].Journal of Physical Chemistry,1992,96:11086-11091. |
| [8] | 中本一雄.无机和配位化合物的红外和拉曼光谱[M].北京:化学工业出版社,1986 |
| [9] | Kamalsanan M N;Chandra s et al.[J].Thin Solid Films,1996,288:112-115. |
| [10] | 柯以侃;董惠茹.分析化学手册,光谱分析[M].北京:化学工业出版社,1998 |
| [11] | 丁子上;翁文剑;杨娟 .[J].硅酸盐学报,1995,23(05):571-579. |
| [12] | YOON K H;Park J H;Kang D H .[J].Journal of the American Ceramic Society,1995,78(08):2267-2270. |
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