ZnO多晶原料的提纯研究

人工晶体学报, 2014, 43(7): 1739-1743.

ZnO多晶原料的提纯研究

王茂州 ^1, , 曾体贤 ^2, , 彭柱 ^3, , 彭丽萍 ^4, , 王雪敏 ^5, , 吴卫东 ^6,

1.西华师范大学物理与电子信息学院,南充637009;中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900

2.西华师范大学物理与电子信息学院,南充637009;中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900

3.西华师范大学物理与电子信息学院,南充637009;中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900

4.中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900

5.中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900

6.中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900

关键词：氧化锌 , 化学气相运输法 , 热失重分析 , 提纯

Study on Purification of ZnO Crystalline Raw Material

Keywords： ZnO , chemical vapor transport method , TG , purification

采用石墨辅助化学气相运输法,对ZnO多晶原料进行提纯研究.通过反应机理分析和热失重(TG)实验,发现ZnO-C体系初始反应温度约为1000℃,在1200℃反应速率急剧增加,由此设计出提纯温场.在真空封结的石英安瓿中,通过反应、输运和重结晶过程,得到致密ZnO晶锭,呈淡黄色;X射线衍射谱与标准谱符合较好,无杂峰;等离子体质谱仪(ICP-MS)测试显示,晶锭中的杂质离子(尤其Ag、Cu、Pb等对器件影响较大的深能级、多能级重金属离子)明显减少.采用化学气相法提纯后的多晶体,可成为制备各种ZnO光电器件的高纯原料.

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