采用氢化技术将四氯化硅转化为三氯氢硅是目前四氯化硅得到合理利用的有效手段.以此为主线,在已有研究工作和生产经验的基础上,从原理上分析了四氯化硅氢化反应,总结了影响氢化转化率的主要因素,提出了合理化建议,为多晶硅的生产提供了有价值的参考.
参考文献
| [1] | Narayanan S;Wohlgemuth J .Cost-benefit analysis of highefficiency cast polycry stalline silicon solar cell sequences[J].Prog Photovotaics,1994,2(02):121. |
| [2] | 龙雨谦,刘颖颖,叶龙泼,付勰,蒋炜,周齐岭,梁斌.四氯化硅催化氢化制备三氯氢硅[J].工业催化,2012(08):26-30. |
| [3] | 蒋广生.三氯氢硅制备工艺介绍[J].化学工业与工程技术,2011(06):46-51. |
| [4] | 梁骏吾.电子级多晶硅的生产工艺[J].中国工程科学,2000(12):34-39. |
| [5] | Zou J;Kauzlarich SM .Functionalization of silicon nanoparticles via silanization: Alkyl, halide and ester[J].Journal of cluster science,2008(2):341-355. |
| [6] | 吕永梅.四氯化硅工业应用研究进展[J].江苏氯碱,2007(04):17. |
| [7] | 王跃林.多晶硅副产物四氯化硅的综合利用技术[J].精细与专用化学品,2009(02):22-24. |
| [8] | 王跃林,段先健,刘莉.多晶硅及有机硅工业副产物综合利用技术[J].材料研究与应用,2008(04):269-272. |
| [9] | 陈涵斌,李育亮,印永祥.四氯化硅转化技术的现状与发展趋势[J].氯碱工业,2009(04):27-31. |
| [10] | 张平;傅吉全 .常压下四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅催化剂性能考察[J].纳米加工工艺,2012,9(05):62. |
| [11] | 姚又省,刘继三,陈维平.冷氢化工艺中四氯化硅汽化方式的比较[J].化学工程,2012(12):75-78. |
| [12] | 吕鹏飞 .多晶硅生产过程的模拟分析[D].中国海洋大学,2008. |
| [13] | 加西亚-阿隆索N;吕丁格C;埃贝勒H-J .通过四氯硅烷的热氢化反应制备三氯氢硅的方法[P].德国,101107197A,2008-01-16. |
| [14] | 水岛一树;清水祐司 .三氯硅烷的制备方法和三氯硅烷的制备装置[P].日本,101479193A,2007. |
| [15] | 蒋建纯;张弛;张新万 .四氯化硅氢化炉U形发热体及制造工艺[P].中国,101541111A,2009-09-23. |
| [16] | 沈祖祥;毋克力;严大洲 .四氯化硅氢化生产三氯氢硅的方法[P].中国,1436725A,2003-08-20. |
| [17] | 张日清;范猛;周勇 .一种四氯化硅制备三氯氢硅的设备[P].中国,201372206Y,2009-02-27. |
| [18] | Wu Qingyou;Chen Hanbin;Li Yuliang .Preparation of triehlorosilane from hydrogenation of silicon tetraehloride in thermal plasma[J].Inorganic Materials,2010,46(03):251. |
| [19] | Sarma K R;Rice M J .High pressure plasma hydrogenation of silicon tetrachloride[P].US,4309259,1982-01-05. |
| [20] | Gusev A V;Kornev R A;Sukhanov A Yu .Preparation of triehlorosilane by plasma hydrogenation of silicon tetraehloride[J].Inorganic Materials,2006,42(09):1023. |
| [21] | 禹争光;胡蕴成 .等离子体氢化四氯化硅制备三氯氢硅的方法[P].中国,101475175A,2009-07-08. |
| [22] | 黄志军,覃攀,吴青友,李育亮,王子松,尚书勇,戴晓雁,印永祥.氢热等离子体还原四氯化硅制备三氯氢硅的能耗分析[J].硅酸盐学报,2011(05):769-772. |
| [23] | 陈维平 .一种利用氯氢化法把四氯化硅转化为三氯氢硅的装置[P].中国,201136791Y,2008-10-22. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%