目的 研究磁控溅射工艺参数,包括溅射功率、溅射时间,对TiN涂层轴承钢表面性能的影响.方法 采用磁控溅射技术,固定其他工艺参数不变,分别以溅射功率和溅射时间为变量,在轴承钢GCr15表面镀制TiN膜层,并测定硬度,进行摩擦磨损试验.结果 固定溅射功率为200 W,随镀膜时间的延长,硬度和耐磨性呈递减趋势,镀膜时间为5 ～ 10 min时,硬度值达345.23 ～ 353.88HV,摩擦磨损量为2.9 ～3.4 mg.固定镀膜时间为30 min,随着溅射功率从70 W增大至200 W,硬度与耐磨性也呈递减趋势,溅射功率为100 W时,硬度值可达577.91 HV,摩擦磨损量为0.9 mg.结论 溅射功率的影响占主导地位,且溅射功率不宜偏高.欲提升材料表面硬度和耐磨性能,溅射功率取100 W,镀膜时间取30 min最为适宜.
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