FTO薄膜制备技术研究进展

人工晶体学报, 2016, 45(11): 2645-2649.

1.燕山大学材料科学与工程学院,秦皇岛066004;唐山学院环境与化学工程系,唐山063000

2.燕山大学材料科学与工程学院,秦皇岛,066004

3.燕山大学材料科学与工程学院,秦皇岛,066004

4.燕山大学材料科学与工程学院,秦皇岛,066004

5.燕山大学材料科学与工程学院,秦皇岛,066004

基金项目: 国家重点研发计划(2016YFB0303902-02) 唐山市科技支撑计划项目(15110205a) 河北省应用基础研究计划重点基础研究(13961106D)

Research Development on Preparation of FTO Thin Film

本文首先对FTO薄膜的特性和应用进行简明陈述,之后对薄膜的制备方法,包括溶胶-凝胶法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解法等现有制备技术及研究进展进行了全面的综述,最后对FTO薄膜的制备技术改进及FTO理论设计研究前景进行了展望.

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