燃焰法沉积高质量金刚石厚膜的研究

功能材料, 2000, 31(1): 102-106.

1.吉林工业大学机械科学与工程学院,吉林长春,130025

2.吉林工业大学机械科学与工程学院,吉林长春,130025

3.吉林工业大学机械科学与工程学院,吉林长春,130025

Study on the Depositing High Quality Diamond Thick Film by the Combustion Flame Method

研究了气体流量比(O/CH)对燃焰法沉积金刚石厚膜的影响,并以约50μm/h的较高速率沉积出了均匀、致密呈淡黄色透明状的高质量金刚石厚膜.

[1]	中井哲男;中村勉 .[J].NEW DIAMOND,1991,2:36.
[2]	金曾孙等.[J].高技术通讯,1994,8:1.
[3]	黄树涛,张志军,姚英学,袁哲俊.燃焰法沉积高品质透明金刚石薄膜的研究[J].人工晶体学报,1999(01):74-78.

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