为了研究等离子体中离子能量的分布规律,基于栅网式离子能量测试原理,采用离子光学模拟软件Simion7.0,对四栅网离子能量分析仪中网格大小和网格间距对离子能量测量结果的影响进行了理论分析.分析结果表明,当离子能量为800 eV左右时,网格尺寸的大小会影响离子能量的测量精度,网格间距的大小对离子能量的测量结果几乎不产生影响.该研究结果对栅网式离子能量测试装置的设计及网格参数的优化具有重要的理论和实践指导意义.
参考文献
| [1] | 尤大伟.制备光学薄膜的离子源技术概述[J].真空科学与技术学报,2009(01):107-113. |
| [2] | 王利,程鑫彬,王占山,唐骐,范滨.离子束辅助沉积薄膜工艺[J].红外与激光工程,2007(06):896-898. |
| [3] | 黄超,赵学玒,张建超,汪曣.基于相空间方法的电子轰击离子源参数对其性能影响的研究[J].真空科学与技术学报,2011(02):169-173. |
| [4] | Mohan S.;Krishna MG. .A REVIEW OF ION BEAM ASSISTED DEPOSITION OF OPTICAL THIN FILMS [Review][J].Vacuum: Technology Applications & Ion Physics: The International Journal & Abstracting Service for Vacuum Science & Technology,1995(7):645-659. |
| [5] | MORITA K;HIMURA H;SANPEI A et al.Development of Phosphor Screen Having Gridded Energy Analyzer for Twofluid Nonneutral Plasma Experiments[J].Plasma and Fusion Research,2007,2:S1127-S11-4. |
| [6] | 吴先球,陈俊芳,蒋珍美,熊予莹,吴开华,任兆杏.等离子体离子能量自动分析器的研制和应用[J].电子学报,2003(02):186-188. |
| [7] | 潘永强,朱昌,陈智利,杭凌侠.端部霍尔离子源工作特性及等离子体特性研究[J].真空科学与技术学报,2003(01):57-60. |
| [8] | 蔡长龙,王季梅,弥谦,严一心.脉冲真空电弧离子能量的测量研究[J].真空电子技术,2004(02):52-54. |
| [9] | CHRISTIAN B;PERRIN J .Retarding-fidd Analyzer for Measurements of Ion Energy Distributions and Secondary Electron Emission Coefficients in Low-pressure Radio Frequency Discharges[J].Review of Scientific Instruments,1993,64(01):31-44. |
| [10] | DAHL D A.SIMION 3D Version7.0 User's Manual[M].Idaho:Idaho National Engineering and Environmental Laboratory,2000 |
| [11] | 徐均琪,弥谦,杭凌侠,严一心,董网妮.宽束冷阴极离子源离子能量及能量分布的研究[J].光电工程,2008(06):23-27,53. |
| [12] | HONZAWA T;SEKIZAWA T;MIYAUCHI Y et al.Effect of Space Charges in Gridded Energy Analyzer[J].Japanese Journal of Applied Physics,1993,32(12A):5748-5753. |
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