石英晶体中的腐蚀隧道缺陷

人工晶体学报, 2009, 38(1): 71-73.

1.清华大学材料科学与工程系,北京,100084;中材高新材料股份有限公司,北京,100102

2.清华大学材料科学与工程系,北京,100084

3.烁光特晶科技有限公司,北京100018

4.烁光特晶科技有限公司,北京100018

Study on the Etch-channel Defects in Crystal Quartz

石英晶体中的腐蚀隧道缺陷是晶体结构中位错的宏观表现.腐蚀隧道缺陷不仅影响石英加工过程,由于石英晶体元器件常处于冲击、振动、温度变化、辐射等的环境中,腐蚀隧道缺陷也大大影响元器件的性能,降低结构强度.本文对腐蚀隧道进行了比较系统的分析,提出了减少、抑制晶体中腐蚀隧道缺陷的技术手段.

[1]	经和贞;刘承钧.人造石英晶体技术[M].北京:科学出版社,1992:25.
[2]	仲维卓.人工晶体[M].北京:科学出版社,1994:373-381.
[3]	R.A.Laudise;D S Stevens.[A].,1998:116-126.
[4]	Murray R A.Movement of Dislocations in Quartz[A].,1991:2-8.

上一张下一张

计量

作者相关

文章评分