应用离子束混合技术研制气敏-热敏多功能陶瓷材料

功能材料, 2002, 33(4): 420-421.

1.同济大学材料学院微电子材料研究所,上海,200092

2.同济大学材料学院微电子材料研究所,上海,200092

3.武汉理工大学生物材料研究中心,湖北武汉,430070

4.武汉理工大学生物材料研究中心,湖北武汉,430070

5.武汉理工大学生物材料研究中心,湖北武汉,430070

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)(863-715-YF23-9214)

Preparation of temperature-gas double sensitivity materials by ion implantation

以PTC BaTiO3热敏陶瓷为基底材料,在其表面利用离子束混合技术成功地制备了SnO2气体敏感薄膜.应用X射线衍射(XRD)和光电子能谱技术(XPS)对样品薄膜层的物相及化学结合状态进行较为详细的分析.

[1]	薛增泉.薄膜物理[M].北京:电子工业出版社,1991
[2]	王力衡.薄膜技术[M].北京:清华大学出版社,1991
[3]	Hager R J;Walter S .[J].Journal of Electronic Materials,1989,5(08):571-580.
[4]	Chang S C .[J].IEEE Transactions on Electron Devices,1997,12:26.

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