化学气相沉积金刚石膜技术专利分析

电镀与涂饰 , 2016, 35(16): 878-880.

化学气相沉积金刚石膜技术专利分析

1.国家知识产权局专利局专利审查协作江苏中心,江苏苏州,215163

关键词：金刚石膜 , 化学气相沉积 , 专利 , 综述

Patent analysis on chemical vapor deposition technology for making diamond films

Keywords： diamond film , chemical vapor deposition , patent , review

从国内外专利文献方面分析了化学气相沉积(CVD)金刚石膜技术的研究与应用发展情况.

参考文献

上一张下一张

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

在本站搜索
范保虎
在百度学术搜索
范保虎
在万方数据库搜索
范保虎
在CNKI搜索
范保虎

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%