利用透射电子显微镜(TEM)在纳米尺度上直接观察由氮化硅分解出的硅蒸气在蒸发-凝聚过程中产生的分形生长这一实验现象, 结合相对应的有限扩散凝聚(DLA)模型以及核晶凝聚(NA)模型, 对所获得的分形结构进行了描述和讨论, 并探讨了分形生长的发生机理. 同时, 由实验中所拍摄的一组照片计算其分形维数, 分别为Dm1≈1.09, Dm2≈1.52, Dm3≈1.78, 其中Dm3≈1.78与DLA模型的理论预测值以及数值模拟结果较一致.
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