提高粉粒沉降过程中等离子体纯化能力的研究

1.华中理工大学,

2.华中理工大学,

3.广西工学院,

4.广西工学院,

5.广西工学院,

6.华中理工大学,

7.广西工学院,

8.华中理工大学,

基金项目: 广西自然科学基金(9912004) 国家自然科学基金(19874022)

Study on Purification by Plasma during Sedimentation of Particulates

限于工艺条件, 我们过去曾得出粉粒在等离子体中沉降时, 提纯效果可忽略不计, 本文经过详细的分析、计算和论证表明, 沉降时间及提纯速率可经工艺改进而提高到使提纯效果达到决定性的地步. 文中提供了计算结果、改进措施及粉粒可收集的判据. 这对于提高等离子体总的冶金效应和将其推向应用都具有很大的意义.

[1]	冯信华;何小明;陈丽;尹盛 et al.[J].半导体技术,1998,4(04):44-47.
[2]	陶甫廷,王敬义,冯信华,罗文广,张巍,陈文辉,赵宁,尹盛.粉粒在等离子体中沉降的运动学分析[J].稀有金属材料与工程,2001(01):11-14.
[3]	高家锐.动量、热量、质量传输理论[M].重庆:重庆大学出版社,1987:45-47.
[4]	Tardy J;Meaudre R .[J].Philosophical Magazine,1984,49(01):73-81.
[5]	王敬义.薄膜生长理论[M].武汉:华中科技大学出版社,1993:84-86.
[6]	Carman R J .[J].Journal of Phy,1989,d22:55.

上一张下一张

计量

作者相关

文章评分