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用多弧离子镀膜技术结合热扩散成功制备了高硅钢材料.研究了在不同扩散温度下合金的结构、形貌以及硅扩散深度.X射线衍射(XRD)测试表明,在经过高温热处理后样品表层均为α-Fe体心立方结构.硅扩散依赖于表层Fe3Si的结构的形成,场发射扫描电镜结合X射线能谱(FE-SEM,EDS)检测显示:在经过1200℃真空热处理后样品断面硅质量分数从4.6%至5.1%不等,而显微硬度HV测试值为2800MPa,进一步印证了能谱测试的准确性.

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