从电磁场的基本理论出发,本文利用ANSYS软件数值模拟了片状加热器硅晶体生长炉中的磁场和电磁力情况,采用有限元法对三相交流电产生的电磁场进行了三维数值求解,并进行了实验验证.结果表明:硅熔液在交变磁场下所受电磁力的空间分布呈周向性,且硅熔液边角处的电磁力最大,而不同电压相序下的电磁力方向是相反的,从而也导致了硅熔液的不同流动,最终模拟结果与实验现象符合良好.本文为进一步研发铸锭方式下进行的硅晶体生长技术提供了有价值的借鉴.
参考文献
| [1] | 邓安元,王恩刚,赫冀成.交变磁场作用下金属熔池内的流动及其抑制的模拟研究[C].2007年中国钢铁年会,2007 |
| [2] | 张斌,李廷举,贾非,季首华.交流电磁场作用下液体金属液面稳定性的研究[J].铸造技术,2002(06):388-389. |
| [3] | Ivanov NG.;Korsakov AB.;Smirnov EM.;Khodosevitch KV.;Kalaev VV. Makarov YN.;Dornberger E.;Virbulis J.;von Ammon W. .Analysis of magnetic field effect on 3D melt flow in CZ Si growth[J].Journal of Crystal Growth,2003(1/2):183-188. |
| [4] | 徐岳生,刘彩池,王海云,张雯,石义情.半导体硅熔体电导率的间接测量[J].人工晶体学报,2008(01):102-103,101. |
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