Cu靶功率和衬底温度对Cu-SiO2纳米复合膜的相结构与光吸收性能影响

稀有金属材料与工程, 2015, 44(10): 2539-2543.

Cu靶功率和衬底温度对Cu-SiO2纳米复合膜的相结构与光吸收性能影响

赵志明 ^1, , 邢少敏 ^2, , 张国君 ^3, , 白力静 ^4,

1.西安理工大学,陕西西安,710048

2.西安理工大学,陕西西安,710048

3.西安理工大学,陕西西安,710048

4.西安理工大学,陕西西安,710048

基金项目: 国家自然科学基金(51202191,51171148) 陕西省自然科学基金(2010JQ6008) 陕西省重点学科建设专项资金

关键词： Cu-SiO2纳米复合膜 , 磁控溅射 , 相结构 , 光吸收性能

Effects of Cu Target Power and Substrate Temperature on Phase Structure and Optical Absorption Properties of Cu-SiO2 Nano-Composite Films

Keywords： Cu-SiO2 nano-composite films , magnetron sputtering , phase structure , photoabsorption properties

实验利用直流和射频磁控溅射方法交替沉积Cu-SiO2纳米复合膜,研究不同Cu靶功率和衬底温度对纳米复合膜的相结构和光吸收性能的影响.结果表明:随着Cu靶功率的增加,金属Cu纳米颗粒尺寸增大,导致光吸收峰峰位发生红移;随着衬底温度的升高,由于Cu再蒸发效应致使金属Cu纳米颗粒尺寸减小,引起光吸收峰峰位发生蓝移;与室温下沉积态Cu-SiO2纳米复合膜相比,在衬底加热条件下沉积的纳米复合膜在可见光波段出现了明显的表面等离子体共振吸收峰.因此,Cu靶功率和衬底温度对Cu-SiO2纳米复合薄膜的结晶状况和光吸收性能有显著影响.

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Cu靶功率和衬底温度对Cu-SiO2纳米复合膜的相结构与光吸收性能影响

Effects of Cu Target Power and Substrate Temperature on Phase Structure and Optical Absorption Properties of Cu-SiO2 Nano-Composite Films

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