定向凝固多晶硅铸锭炉石英坩埚的改进与热场优化

人工晶体学报, 2015, 44(11): 3179-3183.

定向凝固多晶硅铸锭炉石英坩埚的改进与热场优化

吴元庆 ^0, , 赵洋 ^0, , 王泽来 ^0, , 周涛 ^0, , 边玉强 ^0, , 陆晓东 ^1, , 张鹏 ^2,

1.渤海大学新能源学院,锦州,121000

2.锦州奥克阳光新能源有限公司,锦州,121000

基金项目: 辽宁省教育厅一般项目(L2012401) 国家自然科学基金(11304020)

关键词：多晶硅 , 坩埚形状 , 温场 , 数字模拟 , 等温线

Thermal Field Optimization and Improvement of Directional Solidification of Polycrystalline Silicon Ingot Furnace Quartz Crucible

Keywords： polysilicon , crucible shape , thermal field , numerical simulation , isotherm

针对定向凝固多晶硅铸锭炉内温场的分布特点,利用COMSOL 5.0模拟软件优化设计了定向凝固多晶硅铸锭炉内部坩埚形状,并对优化后铸锭炉内的温场分布进行了详细分析.结果表明:将坩埚底面由平底结构改进为凸底结构,可优化铸锭坩埚内的温场分布,使长晶界面的等温线趋于水平分布,进而可有效解决中心区域结晶过早、边角区域结晶过慢和边角区热诱导缺陷、杂质密度大等铸锭过程中存在的基本问题.

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