新型高灵敏度压电陶瓷多层膜结构加速度传感器

功能材料, 2004, 35(5): 624-626.

1.中国科学院上海硅酸盐研究所,高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海,200050

2.中国科学院上海硅酸盐研究所,高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海,200050

3.中国科学院上海硅酸盐研究所,高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海,200050

4.中国科学院上海硅酸盐研究所,高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海,200050

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)(2001AA325031) 国家重点基础研究发展计划(973计划)(2002CB613306)

High-sencitivity of piezoelectric monolithic multilayed accelermoter

采用压电陶瓷粉体厚膜流延成型工艺和陶瓷内电极共烧技术制成了一种圆环状多层膜结构的压电陶瓷片,用它代替以往圆环状单片压电陶瓷片后,其压电加速度的灵敏度大幅度提高.本文对该加速度的性能进行了研究.这种体积小、重量轻、灵敏度高的新型加速度计可望在高新技术领域中获得应用.

[1]	张沛霖;钟维烈.压电材料与器件物理[M].济南:山东科学技术出版社:533-534.
[2]	陈大任 .[J].电子元件与材料,1994,13(01):2-7.
[3]	张思.振动测试与分析技术[M].北京:清华大学出版社,1992

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