多线切割是当前硅太阳能电池片生产的主要工艺.在线切割过程中约有1/2的晶体硅成为锯屑进入到切割砂浆.砂浆中的各种污染物并未进入高纯硅屑晶体内部,因此可以期望通过物理分离、清洗等技术来提取获得高纯硅粉,而不需要通过高耗能的高温化学或相变过程.综述了硅片线切割过程、硅屑形成及废砂浆特性,评述了从线切割废砂浆中回收高纯硅粉的研究现状和进展,包括本研究组近期的研究结果.
参考文献
| [1] | 张凤林,袁慧,周玉梅,王成勇.硅片精密切割多线锯研究进展[J].金刚石与磨料磨具工程,2006(06):14-18. |
| [2] | 张波,刘文涛,胡晓冬,李伟.线锯切割技术的应用与发展[J].超硬材料工程,2008(01):45-48. |
| [3] | Shibata J;Murayama N;Nagae K .Flotation separation of SiC from wastes in the silicon wafer slicing process[J].Kagaku Kogaku Ronbunshu,2006,32(01):93. |
| [4] | Lee J D;Park N K.The recovery of silicon carbide(SiC)powder from wire saw slurry[A].,2004:937. |
| [5] | Nishijima S.;Izumi Y.;Takeda S.;Suemoto H.;Nakahira A.;Horie S. .Recycling of abrasives from wasted slurry by superconducting magnetic separation[J].IEEE Transactions on Applied Superconductivity: A Publication of the IEEE Superconductivity Committee,2003(2):1596-1599. |
| [6] | Zhu LQ;Kao I .Galerkin-based modal analysis on the vibration of wire-slurry system in wafer slicing using a wiresaw[J].Journal of Sound and Vibration,2005(3/5):589-620. |
| [7] | 檀柏梅,牛新环,赵青云,田建来,刘玉岭.单晶硅线切割技术及切削液的分析研究[C].第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会论文集,2005:385-388. |
| [8] | 李彦林,羊建坤,任丙彦,王会贤,范玉红,张立科,王文江.太阳能级硅片生产工艺中悬浮液粘度研究[C].中国太阳能光伏进展（第九届中国太阳能光伏会议：论文专辑）,2006:50-52. |
| [9] | 李彦林 .超薄大直径太阳能级硅片线切割工艺及其悬浮液特性研究[D].河北工业大学,2007. |
| [10] | 钟根香,尹传强,魏秀琴,周浪.硅微粉氧化性质研究[J].电子元件与材料,2008(10):41-44. |
| [11] | T.Y. Wang;Y.C. Lin;C.Y. Tai;R. Sivakumar;D.K. Rai;C.W. Lan .A novel approach for recycling of kerf loss silicon from cutting slurry waste for solar cell applications[J].Journal of Crystal Growth,2008(15):3403-3406. |
| [12] | Kapur V K;Khanna A K et al.Process for recovery of high purity silicon[P].US,4388080,1983-06-14. |
| [13] | Kapur V K;Choudary U V et al.Silicon purification[P].US,4388286,1983-06-14. |
| [14] | Billiet R L;Nguyen H T et al.Photovoltaic cells from silicon kerf[P].US,6780665,2004-08-24. |
| [15] | Billiet R L;Nguyen H T et al.MEMS and MEMS components from silicon kerf[P].US,6838047,2005-01-04. |
| [16] | 金柏林;陈钧;陈丕烈 .单晶硅切割废液的处理回收方法[P].CN,101113029,2008-01-30. |
| [17] | 弗兰吉亚科莫?G .处理用过的研磨浆料以回收可重复使用组分的方法和装置[P].CN,101218068,2008-07-09. |
| [18] | 杨建锋;高积强;陈畅 等.一种从切割废砂浆中回收硅粉和碳化硅粉的方[P].CN,101130237,2008-02-27. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%