实验研究了采用双层金属上电极Pt-Ag相对于单层金属上电极Au,对金属-绝缘体-半导体-金属(MI-SM)场助热电子发射阴极发射性能方面的改善,并讨论了双层金属上电极各层金属厚度、退火处理对其发射性能的影响.通过优化Pt-Ag上电极内层Pt膜厚度制备的阴极样品,其电子发射率退火前为1.8×10-4,退火后提高到7.2×10-4.
参考文献
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